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本土材料科學團隊研究成果獲刊Science

清大研究團隊「銅原子在雙晶結構中的晶界擴散行為觀測研究」論文,獲刊二十二日出刊「科學(Science)」期刊。(請配合本社社稿CAP013...

本土材料科學團隊研究成果獲刊Science

清大研究團隊「銅原子在雙晶結構中的晶界擴散行為觀測研究」論文,獲刊二十二日出刊「科學(Science)」期刊。(請配合本社社稿CAP013...

台灣學術研究成果再度獲刊「科學(Science)」期刊。 國立清華大學研究團隊研究積體電路晶片中極微細的銅導線,發現在高密度電流作用下,銅原子在晶界的擴散行為,受奈米雙晶結構影響,會產生遲滯現象。

相關成果除為全球首度直接觀測到原子在晶界擴散的行為;更發現在高密度電流作用下,雙晶結構約可延緩銅導線的孔洞生成速率達 10分之1。由於電子產品體積趨小,設法降低或減少積體電路內銅導線,因電遷移所造成之孔洞生成,有助提高產品壽命。

清大材料科學與工程學系教授陳力俊(刻借調國家科學委員會任副主任委員)於2002至2006年間主持「先進材料原子層級結構與動力學研究」,建構「臨場超高真空穿透式電子顯微鏡系統」。陳力俊表示,該系統耗資逾 200萬美元,全球約僅10部,為研究材料原子尺度結構及動力機制的無雙利器。

藉由該頂級設備,研究團隊發現,若將高密度奈米雙晶結構導入積體電路晶片中的銅導線,將可有效降低因電致遷移現象所導致之電子元件失效問題。清大材料科學與工程系副教授廖建能說,研究成果對下一代積體電路製程技術的開發,具極重要啟發意義。

研究團隊成員包括論文第一作者清大材料科學與工程系博士陳冠嘉、共同第一作者交通大學材料科學與工程學系助理教授吳文偉、通訊作者廖建能,以及共同作者陳力俊、中央研究院院士杜經寧。

該研究獲國科會、教育部經費補助。成果獲刊今天出刊「科學」期刊上。國科會表示,該論文由台灣學者主導、本地完成,殊屬難得。